用于真空处理，防止抽真空时管道收缩。
专利摘要
真空处理设备包括真空室、真空泵以及连接真空室到真空泵以抽空真空室的管道30。柔性管作为管道的一部分被包括，以及用于固定柔性管以便在抽空时不收缩的机构。该机构包括用于将柔性管的真空泵侧固定到地板的杆。在一个实施例中，真空处理设备是用于制造显示设备的基板接合设备。
Original abstractThe vacuum processing apparatus includes a vacuum chamber, a vacuum pump, and a pipe 30 connecting the vacuum chamber to the vacuum pump to evacuate the vacuum chamber. A flexible pipe is included as a part of the pipe, and a mechanism for fixing the flexible pipe so as not to shrink at the time of evacuation. The mechanism includes a bar for fixing the vacuum pump side of the flexible pipe to a floor. In an embodiment, the vacuum processing apparatus is a substrate bonding apparatus for fabricating a display device.
专利附图（8）
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