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探针尖端清洁设备及其使用方法
Probe tip cleaning apparatus and method of use
US-7784146-B2用于清洁探针卡等探针尖端，提高清洁效率。
专利摘要
提供了用于该方法的设备，包括用于容纳清洁垫材料条的盒。一种清洁探针尖端（例如探针卡上的探针尖端）的方法，包括在研磨表面上研磨探针尖端，并推进研磨表面，使得后续清洁循环使用清洁垫的清洁部分。该方法可以包括使用真空抽吸由研磨松动的材料。在另一方面，一种清洁探针尖端的方法包括刷洗探针尖端并操作真空以从探针尖端和/或刷子抽吸材料。该方法可以单独或组合使用。
Original abstractApparatus for the method, including cartridges for housing strips of cleaning pad material, are provided. A method for cleaning probe tips, e.g., on a probe card, comprises abrading the probe tips on an abrasive surface, and advancing the abrasive surface so that a later cleaning cycle uses a clean portion of the cleaning pad. The method may include use of a vacuum to aspirate material dislodged by the abrading. In another aspect, a method for cleaning probe tips includes brushing the probe tips and operating a vacuum to aspirate material from the probe tips and/or brush. The methods may be used singly or in combination.
专利附图（8）
来源状态与事件
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