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形成具有包括圆柱形导电图案的存储电极的电容器的方法
Methods of forming capacitors having storage electrodes including cylindrical conductive patterns
US-7413950-B2用于制造半导体电容器，提高存储电极的集成度和性能。
专利摘要
提供一种电容器，包括存储节点接触焊盘和存储电极。存储电极包括至少两个圆柱形导电图案。所述至少两个圆柱形导电图案电耦合到存储节点接触焊盘的表面的一部分。还提供了相关方法。
Original abstractA capacitor is provided including a storage node contact pad and a storage electrode. The storage electrode includes at least two cylindrical conductive patterns. The at least two cylindrical conductive patterns are electrically coupled to a portion of a surface of the storage node contact pad. Related methods are also provided.
专利附图（8）
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